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电子特气
电子特气
电子特气作为晶圆制造过程中的第二大耗材,占比接近14%,仅次于硅片,广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。我司电子特气产品主要包含有三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨气等,采用液态与瓶装气体生产模式。
电子特气
熔点
沸点
蒸汽压
产品等级
NF3
-50.8℃
-63.8℃
21.5atm
4.5N、5N
SF6
-208.5℃
-129℃
>1atm
4.6N
BCl3
-107℃
12.5 °C
29.72 atm
5N