电子特气
电子特气作为晶圆制造过程中的第二大耗材,占比接近14%,仅次于硅片,广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。我司电子特气产品主要包含有三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨气等,采用液态与瓶装气体生产模式。
电子特气 熔点 沸点 蒸汽压 产品等级
NF3 -50.8℃ -63.8℃ 21.5atm 4.5N、5N
SF6 -208.5℃ -129℃ >1atm 4.6N
BCl3 -107℃ 12.5 °C 29.72 atm 5N